加速12英寸大硅片國產(chǎn)化 西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地擴產(chǎn)項目開工
6月14日,西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地擴產(chǎn)項目于西安市高新區(qū)開工,奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地目前擁有一座50萬片/月產(chǎn)能的12英寸硅片工廠,已于2020年7月投產(chǎn),為多家海內(nèi)外晶圓廠提供拋光片和外延片。本次擴產(chǎn)項目投產(chǎn)后將進一步提升我國半導體硅產(chǎn)業(yè)技術實力,強化集成電路產(chǎn)業(yè)鏈綜合競爭力。
近兩年來,受多重因素影響,集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)能緊俏,作為上游原材料的大硅片需求不斷攀升。然而,我國集成電路產(chǎn)業(yè)關鍵原材料尚處于發(fā)展初期,硅片產(chǎn)能主要集中于小尺寸,大尺寸自給率低,約95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠進口,國內(nèi)產(chǎn)能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片,其制造難度越高,對原材料純度、硅片平整度、表面顆粒數(shù)和金屬殘留量等技術指標的要求就越苛刻。
編輯:ZQY 最后修改時間:2022-06-24