積Fab 14自動(dòng)化再升級(jí)，年底人機(jī)比可達(dá)1:75
晶圓代工龍頭臺(tái)積電(2330)開放先進(jìn)制程量產(chǎn)重要基地、南科Fab 14超大晶圓廠讓媒體參訪(見附圖)，包括黃光(litho)、蝕刻(etching)區(qū)機(jī)臺(tái)、甚至最先進(jìn)的曝光機(jī)都首度亮相。臺(tái)積南科Fab 14廠長(zhǎng)王英郎指出，臺(tái)積超大晶圓廠可說是一個(gè)「超人化的無人工廠」，做到包括生產(chǎn)流程、物料搬運(yùn)、以及機(jī)臺(tái)等三大面向的自動(dòng)化，尤其能做到遠(yuǎn)程機(jī)臺(tái)操控，以及異常處理自動(dòng)化的任務(wù)。而他也強(qiáng)調(diào)，南科Fab 14的12吋廠原本人機(jī)比約1:20，如今經(jīng)過再進(jìn)化的過程，估計(jì)兩個(gè)月后隨著「先進(jìn)制造戰(zhàn)情中心」(AMCC)的成立，人機(jī)比可以達(dá)到1:75。
除先進(jìn)制程機(jī)臺(tái)外，臺(tái)積南科Fab 14的晶圓廠自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)也首度曝光。臺(tái)積說明，隨著晶圓面積越做越大，重量也越來越重。舉例來說，6吋晶圓盒的滿載重量約為3.2公斤，8吋則增加至4.9公斤，而到了12吋晶圓則大幅增加至9.2公斤，也因此臺(tái)積在廠內(nèi)運(yùn)送晶圓盒的方式也不斷演進(jìn)，從原本的手動(dòng)+推車，演進(jìn)到手動(dòng)+倉儲(chǔ)(stocker)，然后再演進(jìn)至半自動(dòng)車(PGV/OHT)的運(yùn)輸方式。
身為全球最大的12吋晶圓生產(chǎn)基地，南科Fab 14的「廠內(nèi)交通」自然也相當(dāng)繁忙。臺(tái)積指出，F(xiàn)ab 14廠內(nèi)的自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)，光軌道總長(zhǎng)度就達(dá)43公里，這等同臺(tái)北到高雄的距離。而Fab 14內(nèi)的每日芯片運(yùn)送量更達(dá)60萬次，這個(gè)數(shù)字則是臺(tái)北捷運(yùn)每日載客量的7.7倍，相當(dāng)驚人，廠內(nèi)更可不時(shí)看到晶圓盒分別在不同高度的軌道上前后跑動(dòng)。臺(tái)積電表示，F(xiàn)ab 14跨區(qū)域網(wǎng)關(guān)口的每小時(shí)運(yùn)送量達(dá)1200次之多，這個(gè)數(shù)字更是臺(tái)南交流道假日車流量的1.5倍之多。
而為強(qiáng)化Fab 14的自動(dòng)化程度，臺(tái)積也預(yù)計(jì)于今年底前成立「先進(jìn)制造戰(zhàn)情中心」(AMCC)，要將原本散布廠區(qū)各處、與工廠相關(guān)的決策、監(jiān)控等功能全數(shù)集中于戰(zhàn)情中心內(nèi)，除可增進(jìn)跨部門溝通的效率，也可以提升第一線管理者的決策質(zhì)量，屆時(shí)Fab 14 12吋廠的人機(jī)比，可從原本的1:20再躍進(jìn)為1:75。
編輯：admin 最后修改時(shí)間：2018-01-05
