高性能薄膜體聲濾波器PEBAW^TM是利用聲學諧振實現(xiàn)電學選頻的一類聲學器件，采用微機械工藝制作而成，具有體積小、重量輕、插損小、矩形度好、可靠性高及易批量制造等優(yōu)點。與標準微電子工藝兼容，可實現(xiàn)與RFIC的SoC集成。相比于傳統(tǒng)LC、介質、LTCC濾波器和SAW濾波器，PEBAW^TM濾波器可以同時兼顧小體積和高性能的要求，已被廣泛應用于移動通信終端，基站和雷達系統(tǒng)等領域。